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首頁 > 技術文章 > 2021-10-10

ZKD-III真空管真空度測試儀測試原理

點擊次數：1038 更新更新時間：2021-10-10

ZKD-III真空管真空度測試儀測試原理
將滅弧室的兩觸頭拉開一定的開距，施加脈沖高壓，將電磁線圈環繞于滅弧室的外側，向線圈通以大電流，從而在滅弧室內產生與高壓同步的脈沖磁場，這樣在脈沖磁場的作用下，滅弧室中的電子做螺旋運動，并與殘余氣體分子發生碰撞電離，所產生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關系。對于不同的真空管，在同等真空度條件下，離子電流的大小也不相同，當測知離子電流后，通過離子電流一真空度曲線，由計算機自動完成真空度的計算，并顯示真空度值。

◆漏電電流的處理
對處于分斷狀態的真空滅弧室兩端加高壓時，會有數值不等的幾個微安的漏電電流，此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體差異。尤其是對于裝在整機上的真空滅弧室，由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電，這些漏電的總和有更大的不穩定性和不可預測性，并且在數值上與10-4Pa數量級的真空滅弧室的電離電流相當。我們采用兩次起動高壓的方法，扣除了漏電電流，保證了無論是裝于整機上還是待裝的真空滅弧室的真空計量精度。

◆內置多條真空滅弧室的測量曲線
真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同，當內部真空度和外加激勵電源一定時，其放電電荷量是不同的，并且有相當的差異。為準確測量，對每一種真空滅弧室必須有對應的從電離電荷量到真空度的推算曲線。我廠的專家通過與國內主要真空滅弧室生產廠家的密切合作，取得了很多真空滅弧室的電離電荷和真空度關系的數據，通過數學處理，將其特征參數送入ZKD-III系列產品。因此,ZKD-III系列產品內置了很多真空滅弧室的測量曲線。這是國內外同類產品中*的。

◆完善的輸入保護電路
當真空滅弧室的真空度非常低時，測量時真空滅弧室會被高壓擊穿，瞬間的高壓直接加至信號輸入端的采樣電路上，使其承受十分強的電沖擊。ZKD-III的信號輸入端的采樣電路增加了完備的保護電路，即使儀器由于輸入端的高壓沖擊而發生暫時工作不正常時（重新開機即可），也不會造成電路部分的損壞。

ZKD-III真空管真空度測試儀

技術參數

1. 真空度測量范圍： 1×10-1～1×10-5

2. 測量誤差：＜10%

3. 測量分辨率： 10-5pa

4. 允許環境溫度： -20℃～50℃

5. 空氣濕度： ≤80%RH

6. 電源： AC，220V，50Hz±10%

7. 外型尺寸： 420×290×210（mm）

8. 重量： 8kg